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Plasmaverascher IZHH

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Vergeben.

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Beträge und Kennzahlen

1
Lose
2
Eingegangene Angebote

Beschreibung

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zum Entfernen von für die Strukturierung eingesetzten Fotolackmasken von Substraten und Wafern wird eine Anlage zur Veraschung in einem O2-haltigen Plasma benötigt. Neben dem Veraschungsprozess soll die Anlage auch eine sanfte Plasma-Vorbehandlung ermöglichen, zum Beispiel für das Entfernen von organischen Verunreinigungen vor einer galvanischen Beschichtung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation.…

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
QualitätQualität des Plasmaveraschers—
QualitätService und Lieferung—
PreisPreis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung—

Zuschläge

LosZuschlag anBetragEingegangene AngeboteDatum
LOT-0001 Ohne Zuschlag — 2 —

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV c28d8f87299c4f5c892181bab72f4f16 2 Februar 2024
TED 71267-2024 —

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