Galvanik IZHH
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Zuschlag an NB Technologies GmbH.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Gegenstand dieser Ausschreibung ist insofern eine Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum. Die Prozesskette umfasst unter anderem die Beschichtung von Metallschichten auf Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zu liefern ist eine Prozessanlage Galvanik, die der Herstellung von mikrometerdicken Metallfilmen auf strukturierten oder planaren Substraten von bis zu 150 mm Durchmesser dienen soll. Die Anlage soll für die strombasierte Abscheidung von Gold (Au), Kupfer (Cu) und Zinn (Sn) konzipiert werden, wobei die drei Prozesse zeitgleich zur Verfügung stehen. Als Schichtdicken werden je nach Metall 1 μm bis 50 μm angestrebt. Die Bearbeitung der Wafer erfordert eine partikelfreie und sichere Umgebung die durch ein geeignete Laminarflowbank mit …
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Qualität | Qualität der Anlage | — |
| Qualität | Qualität von Service und Lieferung | — |
| Preis | Gesamtpreis der Anlage einschließlich eines maximal 4maligem jährlichem Service/Wartung | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | NB Technologies GmbH | — | 2 | 4 März 2024 |
Amtliche Veröffentlichungen
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