SLE IZHH
Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
- Veröffentlicht
- 16 Februar 2024
- Erfüllungsort
- Hamburg, DE600
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 3dd0cfb72caa4b12b65c6b94bbc04b2a
- Referenz
- 7c318ad9-65bd-47d3-ae50-b940f5173651
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Die Prozesskette umfasst unter anderem die Strukturierung von Glassubstraten mit bis zu 150 mm Durchmesser mittel laserinduzierter Ätzung. Zu liefern ist insofern eine Anlage zur Strukturierung transparenter Substrate, wie z.B. Glaswafer, mittel selektiver laserinduzierter Ätzung (selective laser etching SLE). Hierbei wird mit einem hoch intensiven Laserstrahl im ersten Schritt das Substrat lokal verändert, so dass es eine erhöhte Ätzrate in einem nasschemischen Folgeschritt aufweist. In diesem Folgeschritt wird dann das vorgeschädigte Material selektiv zum nicht vorgeschädigten Material entfernt, um die gewünschten Strukturen zu erstellen. Die Fokussierung des Laserstrahls in einen Punkt erlaubt das…
Zuschlagskriterien
- Qualität — Qualität der SLE-Anlage
- Qualität — Service und Lieferung
- Preis — Preis
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| LightFab GmbH | — | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 3dd0cfb72caa4b12b65c6b94bbc04b2a · 16 Februar 2024
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Häufig gestellte Fragen
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Deutschland).
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