Maskenjustageanlage IZHH
Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
- Veröffentlicht
- 16 Februar 2024
- Erfüllungsort
- Hamburg, DE600
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 19bce236e6cc4563847f681c1575bfe8
- Referenz
- 9c66a78a-4659-4ef1-a3fa-fa1ce7eef2ce
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Gegenstand dieser Ausschreibung ist insofern eine Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum in Form einer Maskenjustageanlage (auch Maskenpositionierer, Maskenausrichter). Die Prozesskette umfasst unter anderem Reinigung, Belackung, Belichtung und Entwicklung von Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Bei dem anzubietenden Gerät handelt es sich um ein UV Lithographie-Gerät zur hochpräzisen Ausrichtung von Fotomasken und der Belichtung von belackten Halbleitersubstraten mit Strukturen im Mikrometerbereich. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des…
Zuschlagskriterien
- Qualität — Qualität der Maskenjustageanlage
- Qualität — Service und Lieferung
- Preis — Preis
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG | — | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 19bce236e6cc4563847f681c1575bfe8 · 16 Februar 2024
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Häufig gestellte Fragen
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Deutschland).
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