Digestorien IZHH
Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
- Veröffentlicht
- 16 Februar 2024
- Erfüllungsort
- Hamburg, DE600
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- b76c4b1996834d27b345e2d892a89f4b
- Referenz
- 980de742-35ef-4049-987f-bbbadf05a378
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Gegenstand der vorliegenden Ausschreibung ist insofern die Beschaffung von 5 Digestorien (Nassbänken) für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum. Die Prozesskette umfasst unter anderem Reinigung, Belackung, Belichtung und Entwicklung von Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Die Leistung umfasst die Lieferung und Einbringung der Digestorien in die Laborräumlichkeiten am Innovationszentrum Hamburg des Auftraggebers einschließlich Demonstration, Schulung und Inbetriebnahme sowie anschließendem Service/Wartung.
Zuschlagskriterien
- Qualität — Service
- Preis — Preis
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| M-O-T Mikro- und Oberflächentechnik GmbH | — | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · b76c4b1996834d27b345e2d892a89f4b · 16 Februar 2024
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Häufig gestellte Fragen
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Deutschland).
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