Plasmaverascher IZHH
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Geschlossen. Angebotsfrist: 15 Januar 2024.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zum Entfernen von für die Strukturierung eingesetzten Fotolackmasken von Substraten und Wafern wird eine Anlage zur Veraschung in einem O2-haltigen Plasma benötigt. Neben dem Veraschungsprozess soll die Anlage auch eine sanfte Plasma-Vorbehandlung ermöglichen, zum Beispiel für das Entfernen von organischen Verunreinigungen vor einer galvanischen Beschichtung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation…
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Qualität | Qualität des Plasmaveraschers | — |
| Qualität | Service und Lieferung | — |
| Preis | Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung | — |
Teilnahmebedingungen
- Mit dem Angebot ist ein Nachweis der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister einzureichen. Der Nachweis wird erbracht durch einen aktuellen (d.h. zum…
- Mit dem Angebot ist eine Eigenerklärung über den Umsatz der vergangenen drei Geschäftsjahre einzureichen. Für neu gegründete Unternehmen sind nur die Umsätze…
- Der Nachweis wird erbracht durch die Vorlage eines vom Versicherer ausgestellten Versicherungsnachweises oder eine schriftliche Erklärung des Versicherers,…
- Mit dem Angebot ist eine Erklärung zur Mitarbeiterentwicklung der letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre einzureichen. Neu gegründete Unternehmen, die…
- Mit dem Angebot ist eine Erklärung einzureichen, in der vergleichbare Referenzprojekte in Bezug auf die Herstellung und den Betrieb der spezifizierten Anlage…
- Der Nachweis kann wie folgt erbracht werden: - entweder durch Vorlage eines gültigen Zertifikats gemäß DIN EN ISO 9001 - oder durch Vorlage einer…
Amtliche Veröffentlichungen
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Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 15 Januar 2024, 14:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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