Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Closed. Submission deadline: 13 March 2025.
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Amounts and figures
Description
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD. Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL et BEOL. Cet équipement traitera des plaques 300 mm. Il vise le développement des diélectriques et des matériaux conducteurs pour les mémoires non-volatiles embarquées (eNVM) au niveau des interconnexions métalliques au-dessus des transistors. Il comprend les options à réponses obligatoires suivantes : - Formation maintenance niveau 1 (page 36 du cahier des charges) - Formation maintenance avancée ((page 36 du cahier des charges) Ainsi que le coût des options à réponses facultatives : - une station tampon (buffer station) pour le refroidissement des plaques (page 13 du cahier des charges) - une station de refroidissement (page 13 du cahier des charges) - une station tampon (buffer station) pour le stockage des wafers dummies (page 14 du cahier des charges) - une station d’alignement du notch (page 14 du cahier des charges) - un load port additionnel (page 14 du cahier des charges) - échangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (page 16 du cahier de…
Award criteria
| Type | Criterion | Weight |
|---|---|---|
| Price | Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché. | — |
Official publications
| Medium | Reference | Date |
|---|---|---|
| TED | 00096717-2025 | 12 February 2025 |
| OJS | 30/2025 | 12 February 2025 |
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Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 13 March 2025, 12:00. Check the official source, as dates can be modified.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (European Union).
- How can I bid for public tenders in the European Union?
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