Module de métrologie intégrée pour équipement de marque Applied Materials MIRRA-DESICA.
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Closed. Submission deadline: 25 November 2024.
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Amounts and figures
Description
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un système de mesure intégré pour son équipement Applied Materials MIRRA-DESICA. Cet équipement doit être entièrement intégré et connecté à l'équipement de CMP. Il doit manipuler et mesurer des plaques de silicium de 200 mm de diamètre, avec différents matériaux déposés, tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le poly-silicium sur oxyde de silicium et mesurer des plaques avec ou sans motifs.
Award criteria
| Type | Criterion | Weight |
|---|---|---|
| Price | Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché | — |
Official publications
| Medium | Reference | Date |
|---|---|---|
| TED | 00646737-2024 | 24 October 2024 |
| OJS | 208/2024 | 24 October 2024 |
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Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 25 November 2024, 12:00. Check the official source, as dates can be modified.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (European Union).
- How can I bid for public tenders in the European Union?
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