Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes
Buyer: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- Published
- 25 September 2024
- Place of performance
- FRK24
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00575351-2024
- Reference
- 0d1de2bd-5b5b-4d62-aaec-e4148e02560a
- Official source
- Official source
CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et sera utilisé pour la réalisation des étapes de recuits du FEOL et du MOL, nécessaires pour le développement des technologies avancées FDSOI 10nm et au-delà. Le marché envisagé comprend des options techniques qui sont décrites dans le dossier de consultation.
Award criteria
- Quality — Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 2 « Dopant activation on blanket wafer », décrit en page 5 du cahier des charges.
- Quality — Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 3 « Ni silicidation », décrit en page 5 du cahier des charges
- Quality — Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 6 « Multi-condition process capability», décrit en page 6 du cahier des charges.
- Quality — Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des autres procédés (Procédé 1 « Platform. Cold handling to control the equipment environment », Procédé 4 « Forming gas anneal on…
- Quality — Qualité de la configuration matérielle et de la capacité hardware
- Price — Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes pour le compte du CEA Grenoble. Le marché a pour objet la fourniture d’un équipement de recuit millisecondes et des prestations associées, lot…
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| VEECO GmbH | €1 | — |
Official publications
- TED · 00575351-2024 · 25 September 2024
- OJS · 187/2024 · 25 September 2024
Other tenders from COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- Calandre pour la fabrication d’électrodes lithium-ion
- Equipement de dépôt LPCVD
- Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool
- Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL
- Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
- Calandre pour la fabrication d’électrodes lithium-ion
- 300mm BEOL SORTER
- Equipement de dépôt LPCVD
- Fourniture et fabrication d’un banc d’essais de type cryostat
- Equipement de tests sous pointes (prober) à faible bruit 300mm
Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Get alerts for tenders like this
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.