Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Awarded to VEECO GmbH.
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Amounts and figures
Description
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et sera utilisé pour la réalisation des étapes de recuits du FEOL et du MOL, nécessaires pour le développement des technologies avancées FDSOI 10nm et au-delà. Le marché envisagé comprend des options techniques qui sont décrites dans le dossier de consultation.
Award criteria
| Type | Criterion | Weight |
|---|---|---|
| Quality | Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 2 « Dopant activation on blanket wafer », décrit en page 5 du cahier des charges. | — |
| Quality | Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 3 « Ni silicidation », décrit en page 5 du cahier des charges | — |
| Quality | Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 6 « Multi-condition process capability», décrit en page 6 du cahier des charges. | — |
| Quality | Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des autres procédés (Procédé 1 « Platform. Cold handling to control the equipment environment », Procédé 4 « Forming gas anneal on… | — |
| Quality | Qualité de la configuration matérielle et de la capacité hardware | — |
| Price | Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes pour le compte du CEA Grenoble. Le marché a pour objet la fourniture d’un équipement de recuit millisecondes et des prestations associées, lot… | — |
Awards
| Lot | Awarded to | Amount | Bids received | Date |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0000 | VEECO GmbH | €1 | 1 | 13 September 2024 |
Official publications
| Medium | Reference | Date |
|---|---|---|
| TED | 00575351-2024 | 25 September 2024 |
| OJS | 187/2024 | 25 September 2024 |
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