Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
Buyer: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- Published
- 3 December 2025
- Place of performance
- FRK24
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00802732-2025
- Reference
- 6d20ce5b-ce15-4b7e-a7a2-09726a987025
- Official source
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CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement d’épitaxie afin de relever les défis technologiques à venir. Cet équipement d’épitaxie à basse température de type RPCVD (« Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition » en anglais ») doit être capable de réaliser une croissance par épitaxie intrinsèque et dopée in situ, non sélective et sélective (types N et P) de semi-conducteurs du groupe IV, à haute et basse température (de 1100°C à 300°C) sur des plaquettes de silicium de 300 mm. Le marché comprend les options suivantes, qui sont levées à la notification du marché : - Option 5 : Systèmes de régulation de température, tel que décrit au paragraphe 3.2.6 du cahier des charges. - Option 7 : Formation maintenance niveau 1, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges complété par l’article 9 ci-après). - Option 8 : Formation maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges complété par l’article 9 ci-après).
Award criteria
- Price — Prix de l'équipement : 55%
- Quality — Critère technique n° 1 : Qualité matérielle et configuration hardware : 10%
- Quality — Critère technique n° 2 : Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications du Procédé 3 « Low Temperature SiP » : 25%
- Quality — Critère technique n° 3 : Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des autres procédés : 10%
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| APPLIED MATERIALS SOUTH EAST ASIA | €1 | — |
Official publications
- TED · 00802732-2025 · 3 December 2025
- OJS · 233/2025 · 3 December 2025
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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