Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
Buyer: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- Published
- 7 March 2025
- Submission deadline
- 10 April 2025, 12:00
- Place of performance
- FRK24
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00150499-2025
- Reference
- 6d20ce5b-ce15-4b7e-a7a2-09726a987025
- Official source
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CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement d’épitaxie afin de relever les défis technologiques à venir. Cet équipement d’épitaxie à basse température de type RPCVD (« Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition » en anglais ») doit être capable de réaliser une croissance par épitaxie intrinsèque et dopée in situ, non sélective et sélective (types N et P) de semi-conducteurs du groupe IV, à haute et basse température (de 1100°C à 300°C) sur des plaquettes de silicium de 300 mm. Le marché envisagé comprend les options à chiffrage obligatoire suivantes : - Option 1 : Chambre de gravure pour l’optimisation du contact, tel que décrit aux paragraphes 2.7 et 3.1.5 du cahier des charges. - Option 2 : Chambre de gravure pour le creux latéral (« lateral recess »), tel que décrit au paragraphe 2.8 et 3.1.8 du cahier des charges. - Option 3 : Connexion de l’équipement avec une boite sous-vide pour le transport de plaques, tel que décrit aux paragraphes 3.4 du cahier des charges. Il comprend également les options à chiffrage facultative suivantes : - Option 4 : Systèmes de pompages, tel que …
Award criteria
- Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Official publications
- TED · 00150499-2025 · 7 March 2025
- OJS · 47/2025 · 7 March 2025
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Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 10 April 2025, 12:00. Check the official source, as dates can be modified.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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