Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL

Amounts and figures

Description

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD. Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL et BEOL. Cet équipement traitera des plaques 300 mm. Il vise le développement des diélectriques et des matériaux conducteurs pour les mémoires non-volatiles embarquées (eNVM) au niveau des interconnexions métalliques au-dessus des transistors. Les options suivantes sont levées dès la notification du marché : o Option 1 : une station tampon (buffer station) pour le refroidissement des plaques o Option 2 : une station de refroidissement o Option 3 : une station tampon (buffer station) pour le stockage des wafers dummies (inclus dans l’équipement de base) o Option 4 : une station d’alignement du ‘notch’ (inclus dans l’équipement de base) o Option 5 : un load port additionnel (inclus dans l’équipement de base) o Option 8 : Deuxième année de garantie o Option 9 : Formation maintenance de niveau 1 o Option 10 : Formation maintenance niveau avancée

Award criteria

Awards

Official publications

• Fourniture d’une unité de stockage de plaques nues de 300 mm
  Published: 20 October 2026
• Calandre pour la fabrication d’électrodes lithium-ion
  Published: 17 June 2026
• Equipement de dépôt LPCVD
  Published: 22 May 2026
• Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool
  Published: 16 February 2026
• Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
  Published: 3 December 2025
• Calandre pour la fabrication d’électrodes lithium-ion
  Published: 27 November 2025
• 300mm BEOL SORTER
  Published: 10 July 2025
• Equipement de dépôt LPCVD
  Published: 16 June 2025
• Fourniture et fabrication d’un banc d’essais de type cryostat
  Published: 23 May 2025
• Equipement de tests sous pointes (prober) à faible bruit 300mm
  Published: 31 March 2025

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• Fourniture et pose de moteurs à haut rendement — deadline 26 October 2026
• Fourniture de cartes accréditives multi-enseignes pour la fourniture de carburants et d'électricité et presta… — deadline 17 November 2026
• Fourniture des premières Ressources Essentielles et d'installations techniques post catastrophes naturelles o… — deadline 23 July 2031

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