Equipement de dépôt LPCVD
Buyer: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- Published
- 22 May 2026
- Place of performance
- Grenoble, FRK24
- Procedure
- neg-w-call
- Lots
- 1
- Notice number
- 00352159-2026
- Reference
- 33b59efe-e89c-4429-aa93-0a03b7b41cc1
- Official source
- Official source
CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| TOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED | €1 | — |
| TOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED | €1 | — |
Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (European Union).
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