Fourniture d’un équipement de collage plaque sur plaque avec alignement de haute précision 300mm

Amounts and figures

Description

Le CEA-Leti souhaite acquérir une machine de collage direct de plaque sur plaque avec un alignement de haute précision inférieure à 100nm. Cet équipement devra traiter des plaques de 300mm de diamètre pour réaliser des collages de plaques sur plaques, et devra disposer des fonctionnalités d’activation de surface par traitement plasma, de nettoyage de surface, de décollement de plaques et d’une mesure intégrée de l’alignement obtenu.

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