Fourniture d’un équipement ALE-ALD pour wafers 200mm - relance suite appel d'offre n°AOO-B23-03215-CF infructueux
Buyer: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- Published
- 21 June 2024
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00369747-2024
- Reference
- ee55f48f-a410-42ae-abc8-c5feaf824472
- Official source
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CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaitait acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique quantique. L'équipement devra permettre le traitement de plaquettes de 200 mm et plus petits. L'équipement se composera de deux chambres, reliées sous vide par un bras robotisé, dans lesquelles les plaquettes seront chargées via un sas de chargement. La première chambre sera dédiée à la gravure des matériaux semi-conducteurs, du silicium et du germanium, de leurs alliages et de leurs oxydes. La gravure est effectuée par Atomic Layer Etching (ALE). La deuxième chambre sera dédiée au dépôt de matériaux d'oxyde et de nitrure, d'oxyde d'aluminium, d'oxyde de silicium, de nitrure de titane, de nitrure d'aluminium et de nitrure de niobium.
Award criteria
- Price — Prix de l’équipement
- Quality — Niveau d’automatisation et de paramétrage des opérations de dépôt, et ergonomie de l’interface
- Quality — Qualité du système de chauffage (précision et homogénéité)
- Quality — Qualité des différents réacteurs plasma (précision et homogénéité)
- Quality — Démonstration de la limitation des pourcentages d’inhomogénéité des dépôts d’alumine sur substrat de 200 mm en procédé plasma
- Quality — Richesse de la bibliothèque des recettes disponibles
- Quality — Richesse de la bibliothèque de films disponibles pour les mesures d’ellipsometrie
- Quality — Ergonomie : facilité d’accès aux différentes chambres pour la maintenance
- Quality — SAS : facilité d’utilisation et temps de chargement de substrat
- Quality — Vide et taux de fuite
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| SENTECH | €1 | — |
Official publications
- TED · 00369747-2024 · 21 June 2024
- OJS · 120/2024 · 21 June 2024
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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