Plasmaverascher IZHH
Buyer: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
- Published
- 5 December 2023
- Submission deadline
- 15 January 2024, 14:00
- Place of performance
- Hamburg, DE600
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00737454-2023
- Reference
- d437b1d1-233f-470c-a89b-a48406901a4e
- Official source
- Official source
CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zum Entfernen von für die Strukturierung eingesetzten Fotolackmasken von Substraten und Wafern wird eine Anlage zur Veraschung in einem O2-haltigen Plasma benötigt. Neben dem Veraschungsprozess soll die Anlage auch eine sanfte Plasma-Vorbehandlung ermöglichen, zum Beispiel für das Entfernen von organischen Verunreinigungen vor einer galvanischen Beschichtung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation…
Award criteria
- Quality — Qualität des Plasmaveraschers
- Quality — Service und Lieferung
- Price — Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung
Official publications
- TED · 00737454-2023 · 5 December 2023
- OJS · 234/2023 · 5 December 2023
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Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 15 January 2024, 14:00. Check the official source, as dates can be modified.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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