SLE IZHH
Buyer: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
- Published
- 16 February 2024
- Place of performance
- Hamburg, DE600
- Procedure
- open
- Lots
- 1
- Notice number
- 00099631-2024
- Reference
- 7c318ad9-65bd-47d3-ae50-b940f5173651
- Official source
- Official source
CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Die Prozesskette umfasst unter anderem die Strukturierung von Glassubstraten mit bis zu 150 mm Durchmesser mittel laserinduzierter Ätzung. Zu liefern ist insofern eine Anlage zur Strukturierung transparenter Substrate, wie z.B. Glaswafer, mittel selektiver laserinduzierter Ätzung (selective laser etching SLE). Hierbei wird mit einem hoch intensiven Laserstrahl im ersten Schritt das Substrat lokal verändert, so dass es eine erhöhte Ätzrate in einem nasschemischen Folgeschritt aufweist. In diesem Folgeschritt wird dann das vorgeschädigte Material selektiv zum nicht vorgeschädigten Material entfernt, um die gewünschten Strukturen zu erstellen. Die Fokussierung des Laserstrahls in einen Punkt erlaubt das…
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| LightFab GmbH | — | — |
Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (European Union).
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.