Plasmaverascher IZHH

Published

2 February 2024

Place of performance

Hamburg, DE600

Procedure

open

Lots

1

Notice number

00071267-2024

Reference

f673bb97-52e1-4296-ae7a-45587765799f

Official source

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CPV codes

• 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)

Description

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zum Entfernen von für die Strukturierung eingesetzten Fotolackmasken von Substraten und Wafern wird eine Anlage zur Veraschung in einem O2-haltigen Plasma benötigt. Neben dem Veraschungsprozess soll die Anlage auch eine sanfte Plasma-Vorbehandlung ermöglichen, zum Beispiel für das Entfernen von organischen Verunreinigungen vor einer galvanischen Beschichtung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation.…

Frequently asked questions

Who is the buyer of this tender?

The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (European Union).