El Vínculo El Vínculo.
Awarded European Union

Digestorien IZHH

Buyer: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Published
16 February 2024
Place of performance
Hamburg, DE600
Procedure
neg-wo-call
Lots
1
Notice number
00098180-2024
Reference
980de742-35ef-4049-987f-bbbadf05a378
Official source
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CPV codes

Description

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Gegenstand der vorliegenden Ausschreibung ist insofern die Beschaffung von 5 Digestorien (Nassbänken) für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum. Die Prozesskette umfasst unter anderem Reinigung, Belackung, Belichtung und Entwicklung von Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Die Leistung umfasst die Lieferung und Einbringung der Digestorien in die Laborräumlichkeiten am Innovationszentrum Hamburg des Auftraggebers einschließlich Demonstration, Schulung und Inbetriebnahme sowie anschließendem Service/Wartung.

Awards

Awarded toAmountDate
M-O-T Mikro- und Oberflächentechnik GmbH

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The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (European Union).
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