Optische Profilometrie IZHH

Published

1 February 2024

Place of performance

Hamburg, DE600

Procedure

open

Lots

1

Notice number

00067818-2024

Reference

9da69541-cba7-4849-8244-e018d2391b25

Official source

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CPV codes

• 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
• 38126000Aparatos de observación en superficie

Description

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Für die Bewertung der Prozesse werden verschiedene Verfahren der Metrologie benötigt. Zur Qualifikation und Kontrolle verschiedener Prozesse (z.B. Beschichtung mit Lack, Abscheidung von Metallen und Dielektrika, Substrat Tiefenätzen, …) soll ein Messgerät für die optische Profilometrie eingesetzt werden. Die optische Profilometrie erlaubt die berührungsfreie Charakterisierung der Probendicke und -topographie und ermöglicht somit unter anderem Rückschlüsse auf die mechanische Verspannung von Schichtstapeln, Tiefen geätzter Ka…

Frequently asked questions

Who is the buyer of this tender?

The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (European Union).