Maskenjustageanlage IZHH

Published

16 February 2024

Place of performance

Hamburg, DE600

Procedure

open

Lots

1

Notice number

00100094-2024

Reference

9c66a78a-4659-4ef1-a3fa-fa1ce7eef2ce

Official source

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CPV codes

• 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)

Description

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Gegenstand dieser Ausschreibung ist insofern eine Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum in Form einer Maskenjustageanlage (auch Maskenpositionierer, Maskenausrichter). Die Prozesskette umfasst unter anderem Reinigung, Belackung, Belichtung und Entwicklung von Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Bei dem anzubietenden Gerät handelt es sich um ein UV Lithographie-Gerät zur hochpräzisen Ausrichtung von Fotomasken und der Belichtung von belackten Halbleitersubstraten mit Strukturen im Mikrometerbereich. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des…

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Frequently asked questions

Who is the buyer of this tender?

The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (European Union).