maskenloses UV-Direktlithographie-System
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH für 190.785 €.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | 1 | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | 190.785 € | 2 | 14 Juli 2026 |
Amtliche Veröffentlichungen
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