Chemisch-mechanische Poliermaschine
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Zuschlag an Bruker France S.A.S. für 225.000 €.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit die Anschaffung einer chemisch-mechanischen Poliermaschine (CMP) für das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Sie muss für Probengrößen bis hin zu Wafern (Halbleiterscheiben) mit Durchmessern von bis zu 100 Millimeter geeignet sein, Rauigkeiten kleiner als 1 Nanometer (RMS-Rauigkeit) erreichen können. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2 Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über einem Gesamtauftragswert von 225.000,00 Euro netto von der Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über dieser Grenze, ist die Vergabestel-le berechtig die Ausschreibung aufzuheben.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | 100% Preis unter Beachtung der Obergrenze und der Mindestbedingungen | 100% |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Bruker France S.A.S. | 225.000 € | 1 | 29 Oktober 2026 |
Amtliche Veröffentlichungen
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