Chemisch-mechanische Poliermaschine
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Geschlossen. Angebotsfrist: 13 Oktober 2026. CMP-Poliermaschine für Halbleiter-/Dielektrikaoberflächen mit Probengrößen bis 100 mm Durchmesser, RMS-Rauigkeit <1 nm; Anforderungen gemäß Anlage 2, inklusive Mindestleistungsumfang und Bewertungskriterium: Netto-Gesamtauftragswert bis 225.000,00 Euro, ansonsten Ausschreibung aufheben.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit die Anschaffung einer chemisch-mechanischen Poliermaschine (CMP) für das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Sie muss für Probengrößen bis hin zu Wafern (Halbleiterscheiben) mit Durchmessern von bis zu 100 Millimeter geeignet sein, Rauigkeiten kleiner als 1 Nanometer (RMS-Rauigkeit) erreichen können. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2 Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über einem Gesamtauftragswert von 225.000,00 Euro netto von der Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über dieser Grenze, ist die Vergabestel-le berechtig die Ausschreibung aufzuheben.
Teilnahmebedingungen
- Unternehmensdarstellung o Allgemeine Unternehmensdarstellung o Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr. o Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der…
- #Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte der letzten drei Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen der Ausschreibung…
- #Nachweis vergleichbarer Referenzaufträge Zur Feststellung der technisch-beruflichen Leistungsfähigkeit hat der Bieter drei(3) Referenzaufträge der letzten 5…
- Der Angebotsausschluss erfolgt gemäß §§ 123, 124 GWB, §§ 56, 57 VgV sowie Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1…
- Erfüllt das angebotene Produkt die Anforderungen der Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen. Die Erfüllung/Einhaltung der…
Amtliche Veröffentlichungen
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Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 13 Oktober 2026, 10:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Friedrich-Schiller-Universität Jena (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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