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IZHH Laborausrüstung | Sputter Anlage

Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.

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Beträge und Kennzahlen

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Lose

Beschreibung

Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung metallischer Dünnschichten wird eine Anlage zum Magnetronsputtern benötigt. Hiermit sollen verschiedene Multilagen-Systeme auf 150 mm Substraten abgeschieden werden. Um einen Bruch der Vakuumatmosphäre zwischen den einzelnen Prozessschritten zu vermeiden, wird eine Prozesskammer mit mehreren Sputterquellen benötigt. Auftragsgegenstand • Anlage inkl. Lie…

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
Preis40—
Qualität35—
Qualität25—

Teilnahmebedingungen

  • Handelsregisterauszug bei Einreichen des Teilnahmeantrags nicht älter als 3 Monate oder gleichwertigen Nachweis zum Handelsregisterauszug
  • Abgabe der Formulare 03_Unternehmensprofil; Formular 04_Referenzen; Angaben von Umsätzen der letzten 3 Jahre, bei Start-Ups der Businessplan
  • Versicherungsnachweis | Berufshaftpflicht / Vermögensschadenhaftpflicht; vgl. auch Anlage 01 der Vergabeunterlagen
  • Entlastungsnachweis ist über die Formulare 05_ILO und 06_MiLoG zu erbringen. Es gelten die Anforderungen aus den §§ 123, 124 GWB.
  • Entlastungsnachweis ist über die Formulare 07_Eignungsnachweis BMWK und Formular 08_Eignungsnachweis GWB zu erbringen. Es gelten die Anforderungen der §§ 123,…
  • Es können nur Unterlagen nachgefordert werden, die nicht der Wertung unterliegen.

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV 791a7be027f942eb8fd5df070a9f8955 31 Dezember 2023
TED 2116-2024 —

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