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IZHH Laborausrüstung | IBE

Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.

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Beträge und Kennzahlen

1
Lose

Beschreibung

Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Beschreibung Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse auch das reaktive Ionenstrahlätzen (reactive ion beam etching RIBE) und das chemisch unterstütze Ionenstrahlätzen (chemically assisted ion beam etching CAIBE) unterstützen. Mit den Verfahren sollen unter ande…

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
Preis40—
Qualität35—
Qualität25—

Teilnahmebedingungen

  • Berufshaftplichtversicherung in Höhe von 1,5 Mio für Personenschäden und 1,5 Mio. für Sachschäden. Beim Einreichen der Teilnahmeanträge darf der Nachweis nicht…
  • Handelsregisterauszug oder gleichwertigen Nachweis. Beim Einreichen der Teilnahmeanträge nicht älter als 3 Monate.
  • Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre. Bei Start-Ups der Businessplan.
  • 3 Referenzen, die mit diesem Auftrag gleichwertig sind
  • Es gelten die Anforderungen aus den §§ 123, 124 GWB. Entlastung kann durch Ausfüllen der Formulare 05_ILO und 06_MiLoG erbracht werden.
  • Es gelten die Anforderungen aus den §§ 123, 124 GWB. Entlastung kann durch Ausfüllen der Formulare Eigenerklärung BMWK und Eigenerklärung GWB erbracht werden..

Änderungen

  • Austausch des Dokuments 01

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV 752a58a547eb474e9c1d5d9f0213674b 6 Januar 2024
TED 3520-2024 —

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