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Sputter Anlage | Reinraum IZ HH

Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.

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Beträge und Kennzahlen

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Lose

Beschreibung

Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung metallischer Dünnschichten wird eine Anlage zum Magnetronsputtern benötigt. Hiermit sol-en verschiedene Multilagen-Systeme auf 150 mm Substraten abgeschieden werden. Um einen Bruch der Vakuumatmosphäre zwischen den einzelnen Prozessschritten zu vermeiden, wird eine Prozesskammer mit mehreren Sputterquellen benötigt.

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
Preis50—
Qualität30—
Qualität20—

Zuschläge

LosZuschlag anBetragDatum
LOT-0001 Ohne Zuschlag — —

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV c5c3270fc8a8436cb37dff706a683fc4 24 Dezember 2023
TED 791555-2023 —

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