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IZHH Laborausrüstung | Aufdampf-Anlage

Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.

Geschlossen. Angebotsfrist: 26 Januar 2024.

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Beträge und Kennzahlen

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Beschreibung

Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung dielektrischer Schichten wird eine Anlage zur plasmaunterstützen chemischen Gasphasenabscheidung (plasma-enhanced chemical vapor deposition PECVD) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen amorphe SiO2, SiNx, Si und SiC Schichten auf 150 mm Wafern abgeschieden werden.

Teilnahmebedingungen

  • Nachweis über aktuellen Auszug, nicht älter als 3 Monate bei Einreichen der Teilnahmeanträge
  • Versicherungsnachweis für Sach- und Personenschäden i.H.v. jeweils 1,5 Mio
  • Entlastungsnachweis über Formular 05 ILO und 06 MiLoG
  • Entlastungsnachweis über Eigenerklärung BMWG und Eigenerklärung GWB
  • Es können nur Unterlagen nachgefordert werden, die nicht der Wertung unterliegen.

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV dec31feb3cd24139b1abd30365938b45 25 Dezember 2023
TED 791931-2023 —

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Häufig gestellte Fragen

Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
Die Angebotsfrist endet am 26 Januar 2024, 14:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (Deutschland).
Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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