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Atomic Layer Deposition (ALD) System

Auftraggeber: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften

Veröffentlicht
9 November 2023
Angebotsfrist
13 Dezember 2023, 12:00
Erfüllungsort
Garching, DE21H
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Unterlagen
1
Bekanntmachungsnummer
e5e005f1bd10483782d1dfa5baddcf4d
Referenz
0973396e-d271-431d-a89a-ae3caf02fc94
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.

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Häufig gestellte Fragen

Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
Die Angebotsfrist endet am 13 Dezember 2023, 12:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Deutschland).
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