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Plasma Ashing System

Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften

Vergeben.

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Beträge und Kennzahlen

1
Lose

Beschreibung

The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
KostenKosten50%
QualitätQualität50%

Zuschläge

LosZuschlag anBetragDatum
LOT-0001 Ohne Zuschlag — —

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV f0f7ad9fe17f4eddaf7e02b77cc7aec5 25 Oktober 2026

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