XeF2-Gasphasenätzer IZHH
Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
- Veröffentlicht
- 24 April 2024
- Erfüllungsort
- Hamburg, DE600
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- fca3da80bf5a46e6b050ff69aad0e74a
- Referenz
- 846d711d-7ecc-4dfe-acdb-0087fa43a2d0
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zur Strukturierung von Si-Schichten soll eine Anlage zum XeF2-basierten Gasphasenätzen beschafft werden. Mit diesem Verfahren sollen unter anderem Si-Schichten isotrop auf 150 mm Wafern in einem trockenen Verfahren geätzt werden, zum Beispiel zur Hinterätzung von als Maske fungierenden Schichten oder als Release-Ätzung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und W…
Zuschlagskriterien
- Qualität — Qualität des XeF2-Gasphasenätzers
- Qualität — Service und Lieferung
- Preis — Preis der angebotenen Anlage einschließlich eines maximal 4maligen jährlichen Service/Wartung
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| memsstar Limited | — | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · fca3da80bf5a46e6b050ff69aad0e74a · 24 April 2024
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Häufig gestellte Fragen
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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