El Vínculo El Vínculo.
HamburgHamburg
Vergeben Deutschland Lieferungen

XeF2-Gasphasenätzer IZHH

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Zuschlag an memsstar Limited.

Interessieren Sie Ausschreibungen wie diese? Erhalten Sie die nächsten Ausschreibungen wie diese in Deutschland per E-Mail. Kostenlos, ohne Kreditkarte.

Kostenlose Benachrichtigung erstellen →In El Vínculo öffnen →

Beträge und Kennzahlen

1
Lose
2
Eingegangene Angebote

Beschreibung

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zur Strukturierung von Si-Schichten soll eine Anlage zum XeF2-basierten Gasphasenätzen beschafft werden. Mit diesem Verfahren sollen unter anderem Si-Schichten isotrop auf 150 mm Wafern in einem trockenen Verfahren geätzt werden, zum Beispiel zur Hinterätzung von als Maske fungierenden Schichten oder als Release-Ätzung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und W…

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
QualitätQualität des XeF2-Gasphasenätzers—
QualitätService und Lieferung—
PreisPreis der angebotenen Anlage einschließlich eines maximal 4maligen jährlichen Service/Wartung—

Zuschläge

LosZuschlag anBetragEingegangene AngeboteDatum
LOT-0001 memsstar Limited — 2 4 April 2024

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV fca3da80bf5a46e6b050ff69aad0e74a 24 April 2024
TED 242454-2024 —

Weitere Ausschreibungen von Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Vergabestelle ansehen →

Vorherige und folgende von Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Ähnliche offene Ausschreibungen

Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Deutschland).
Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
Angebote werden über das offizielle Vergabeportal in Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.

Wie erfahre ich von ähnlichen Ausschreibungen, sobald sie erscheinen?

Erstellen Sie ein Konto auf el-vinculo.com: Sie erhalten einen Gratismonat und wir richten die Filter Ihres Unternehmens ein — Auftragsart, CPV-Codes, Auftragswert und Gebiet —, damit Sie als Erster erfahren, wenn neue Ausschreibungen wie diese in Deutschland erscheinen. Wir benachrichtigen Sie per E-Mail, sobald eine zu Ihrem Profil passende veröffentlicht wird, mit der gesamten Frist zur Vorbereitung des Angebots.

Ohne Kreditkarte · Anmeldung in 2 Minuten.

Ähnliche Ausschreibungen ansehen →

Ausschreibungen nach Bundesland

Benachrichtigungen für ähnliche Ausschreibungen erhalten
Erstellen Sie ein kostenloses Konto und erhalten Sie täglich neue Ausschreibungen in Deutschland, die zu Ihrem Unternehmen passen.

Kostenlos starten

Daten aus offiziellen Quellen der öffentlichen Vergabe. Beträge wie vom Auftraggeber veröffentlicht.