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Waferprober für das Innovationszentrum Hamburg

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

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Beträge und Kennzahlen

1
Lose
2
Eingegangene Angebote

Beschreibung

Zur Charakterisierung und Beurteilung der hergestellten Strukturen ist eine elektrische Charakterisierung notwendig. Die Messungen sollen auf Waferlevel durchgeführt werden, um eine ausreichende Datenbasis aufzunehmen. Zur elektrischen Kontaktierung und deren Steuerung wird ein Waferprober benötigt, der einen manuell eingeladenen Wafer automatisiert abfährt (halbautomatische Messung). Die Messungen sollen sowohl mittels einzelner Sondenspitzen als auch einer Sondenkarte und DC- wie auch RF-Messungen umfassen. Aufgabe des Waferprobers ist die Positionierung und Kontaktierung der Probe. Die Messung selbst wird durch andere Geräte durchgeführt, die nicht Teil der Ausschreibung sind. Auftragsgegenstand • Anlagen gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung • Service und Wartung gemäß Spezifikation

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
PreisDas wirtschaftlichste Angebot bestimmt sich nach dem besten Preis-Leistungs-Verhältnis. Der Preis erhält eine Gewichtung von 50%. Der Preis ist im Formblatt Preisblatt einzutragen.50%
QualitätDas wirtschaftlichste Angebot bestimmt sich nach dem besten Preis-Leistungs-Verhältnis. Die Qualität erhält eine Gewichtung von 50%. Die Qualität wird gem. Formblatt Bewertungsmatrix bewertet.50%

Zuschläge

LosZuschlag anBetragEingegangene AngeboteDatum
LOT-0001 Ohne Zuschlag — 2 —

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV 5ebfa9ce067e4edc87e565bcf9f87de5 21 April 2024
TED 237793-2024 —

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