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Waferprober für das Innovationszentrum Hamburg

Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Veröffentlicht
21 April 2024
Erfüllungsort
DE600
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
5ebfa9ce067e4edc87e565bcf9f87de5
Referenz
ff8340c5-7d4e-4da4-8f22-dbe009e923a9
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Zur Charakterisierung und Beurteilung der hergestellten Strukturen ist eine elektrische Charakterisierung notwendig. Die Messungen sollen auf Waferlevel durchgeführt werden, um eine ausreichende Datenbasis aufzunehmen. Zur elektrischen Kontaktierung und deren Steuerung wird ein Waferprober benötigt, der einen manuell eingeladenen Wafer automatisiert abfährt (halbautomatische Messung). Die Messungen sollen sowohl mittels einzelner Sondenspitzen als auch einer Sondenkarte und DC- wie auch RF-Messungen umfassen. Aufgabe des Waferprobers ist die Positionierung und Kontaktierung der Probe. Die Messung selbst wird durch andere Geräte durchgeführt, die nicht Teil der Ausschreibung sind. Auftragsgegenstand • Anlagen gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung • Service und Wartung gemäß Spezifikation

Zuschlagskriterien

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Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Deutschland).
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