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Vakuumzubehör

Auftraggeber: Universität Siegen

Veröffentlicht
11 September 2024
Erfüllungsort
DEA5A
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
1c0dd53ba91a4772a79ea4b0f6e1e7c9
Referenz
cb5b7c89-a77c-4414-a22d-2e542fbf35bb
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Hierbei handelt es sich um "spezielles" Vakuumzubehör (Vakuumessgeräte und Vakuumpumpen) für unser Beschichtungszentrum (--> hierbei handelt es sich um die drei vorhandene (U)HV-transferkompatiblen PVD-Abscheideranlagen der Firma Fa. Leybold GmbH) innerhalb des INCYTE Reinraums. Es handelt sich um folgendes Zubehör: 3 Stück Leybold ECODRY 65 plus Wälzkolbenpumpe • Trocken verdichtend, Abriebfreies Pumpprinzip, Manuell zuschaltbarer Gasballast zum Pumpen von Wasserdampf, Integriertes Rückschlagventil im Auspuff • Max. Saugvermögen ohne Gasballast: 55 m³/h • Enddruck ohne Gasballast: 3 x 10-2 mbar • Leckrate: < 1E-5 mbar l/s • Wasserdampfkapazität (mit Gasballast): 500 g/h • Schalldruckpegel bei Enddruck: 52 dB(A) • Schutzart: IP 42 • Ansaugflansch: DN40 ISO-KF • Auslassflansch: DN16 ISO-KF • Kühlung: Luft • Netzanschluss: IEC EN60320 C20 • Schnittstellen: RS485 (D-Sub-9),Steuerschnittstelle (D-Sub-9) • CE-konform • NRTL-zertifiziert durch TÜV Rheinland (cTUVus) • RoHS-konform nach Richtlinie 2011/65/EU • Inkl. Brückenstecker D-SUB-9, Blindflansche mit Zentrier- und Spannringen für Einlass- und Auspuffflansch • Gebrauchsanweisung • 161 810 EU Netzkabel EU, Schuko/CEE 7/7 - C19, V…

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
Leybold GmbH

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