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Direktvergabe Deutschland Dienstleistungen

Retrofit PECVD Anlage

Auftraggeber: Universität Siegen

Veröffentlicht
9 Juli 2024
Erfüllungsort
DEA5A
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
692067a46f3742f696c1d2dace77c125
Referenz
569d2bc0-2e95-401d-bb19-ad364cfe697c
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Unsere vorhandene PECVD Clusteranlage, zur Herstellung von amorphen Dünnschichtmaterialien, soll auch im neuen INCYTE Gebäude weiterbetrieben werden. Dazu muss diese im Gebäu-de Hölderlin E abgebaut und INCYTE erneut aufgebaut und von einer Fachfirma in Betrieb genommen werden. In der PECVD Clusteranlage der Firma MVS werden und wurden zum dotieren der Silizium-schichten, meist hoch-toxische Gase verwendet. Ein Abbau, Dekontamination und Wiederaufbau inkl. Aktualisierung aller Systemkomponenten, Anbindung an die Sicherheitsinfrastruktur des Forschungsneubaus und Vorabtests im Bestand (Gaswarnsysteme) sowie die Erstellung einer umfassenden Dokumentation sind daher sicherheitsrelevant und sehr komplex.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
IBB Automation

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Häufig gestellte Fragen

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