Beschaffung eines Upgrades von ELPHY Quantum auf ELPHY Plus
Direktvergabe an RAITH GmbH.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Das am Mikro- und Nanoanalytikzentrum (MNaF) betriebene Lithographie-Anbau-Kit ELPHY Quantum von Raith wird derzeit im Helios NanoLab 600 SEM/FIB-System der Universität Siegen eingesetzt und dient der Strukturierung von elektronenstrahlempfindlichem Lack im nanoskaligen Bereich. Es ist vorgesehen, dieses Kit für den Betrieb an einem der neuen, von der DFG-geförderten SEM/FIB-Systeme von Thermo Fisher, welche in dem neuen Forschungsgebäude INCYTE der Universität Siegen betrieben werden sollen, auf ELPHY Plus aufzurüsten. Die Elektronenstrahl-Lithografie-Funktionalität in Form von ELPHY Plus steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum (MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen Kooperationspartnern zur Verfügung.
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|---|
| LOT-0000 | RAITH GmbH | 1 € | — |
Amtliche Veröffentlichungen
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