Plasma Ashing System
Auftraggeber: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
- Veröffentlicht
- 5 Juni 2025
- Angebotsfrist
- 11 Juli 2025, 12:00
- Erfüllungsort
- Garching, DE21H
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Unterlagen
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- e2933cae386d4f10a4a875fc250afd2c
- Referenz
- 5b0523ad-2b6c-48bf-bea6-5c7a87d9e7ea
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Zuschlagskriterien
- Qualität — siehe Vergabeunterlagen.
- Preis — siehe Vergabeunterlagen.
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · e2933cae386d4f10a4a875fc250afd2c · 5 Juni 2025
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Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 11 Juli 2025, 12:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
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