Plasma Ashing System
Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
Geschlossen. Angebotsfrist: 11 Juli 2025.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Qualität | siehe Vergabeunterlagen. | — |
| Preis | siehe Vergabeunterlagen. | — |
Teilnahmebedingungen
- Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärungen über mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus den letzten 3…
- Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärung zum Umsatz des Unternehmens in EUR netto jeweils in den letzten 3 abgeschlossenen…
- Folgende Eigenerklärungen und Dokumente sind mit dem Angebot einzureichen: -Eigenerklärung (gemäß § 123 Abs. 1-3 GWB), dass keine Person, deren Verhalten dem…
Amtliche Veröffentlichungen
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Häufig gestellte Fragen
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- Die Angebotsfrist endet am 11 Juli 2025, 12:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Deutschland).
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