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Maskless Aligner

Auftraggeber: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg

Veröffentlicht
22 Juli 2025
Erfüllungsort
Erlangen, DE252
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
0bfb2413bd3c4e6d8c622d1aeeddbed3
Referenz
f5452d11-fb3c-4521-ab21-527e79f6465d
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

In our research group, nanoscopic superconducting circuits are created using lithographic processes on 4-inch wafers. The structures are currently created on photomasks in a fixed design and then transferred to the substrate using photolithography. In order to significantly accelerate the design process of the superconducting circuits, we want to write the structures directly onto the substrate in the future using a maskless aligner.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH 0 €

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Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg (Deutschland).
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