Reaktives Ionenätzen
Auftraggeber: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
- Veröffentlicht
- 23 September 2026
- Erfüllungsort
- Erlangen, DE252
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- fd2b2d3da042428fb871894660c4e7ff
- Referenz
- 2b51b532-b52a-4117-aa1f-2fbb2be52803
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 31720000Equipo electromecánico
- 22520000Equipo de grabado en seco
Beschreibung
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozess…
Zuschlagskriterien
- Preis — Preis
- Qualität — https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9/awardcriteria
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| Oxford Instruments GmbH | 0 € | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · fd2b2d3da042428fb871894660c4e7ff · 23 September 2026
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Häufig gestellte Fragen
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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