Reaktives Ionenätzen
Auftraggeber: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
- Veröffentlicht
- 27 August 2026
- Angebotsfrist
- 11 September 2026, 23:59
- Erfüllungsort
- Erlangen, DE252
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Unterlagen
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 6e7f5a8dac5f424b9b6ca3d56334716f
- Referenz
- 2b51b532-b52a-4117-aa1f-2fbb2be52803
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 31720000Equipo electromecánico
- 22520000Equipo de grabado en seco
Beschreibung
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozess…
Zuschlagskriterien
- Preis — Preis
- Qualität — https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9/awardcriteria
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 6e7f5a8dac5f424b9b6ca3d56334716f · 27 August 2026
Weitere Ausschreibungen von Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
- PM SNSPD Systeme
- Konfokales-Laser-Scanning-Mikroskop
- Kontrollelektronik für Experimente mit supraleitenden Schaltkreisen
- Arbeitsassistenz am Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente der Universität Erlangen-Nürnberg
- Beschaffung einer automatisierten, miniaturisierten Bioreaktorplattform für die parallelisierte Bioprozessentwicklung
- Seminarraummöblierung Lange Gasse 20, Nürnberg
- Beschaffung einer automatisierten, miniaturisierten Bioreaktorplattform für die parallelisierte Bioprozessentwicklung
- Seminarraummöblierung Lange Gasse 20, Nürnberg
- Interner Bürobotendienst innerhalb verschiedener Liegenschaften der FAU Erlangen-Nürnberg
- Interner Bürobotendienst innerhalb verschiedener Liegenschaften der FAU Erlangen-Nürnberg
Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 11 September 2026, 23:59. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
Erstellen Sie ein kostenloses Konto und erhalten Sie täglich neue Ausschreibungen aus Deutschland, die zu Ihrem Unternehmen passen.