IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Beträge und Kennzahlen

Beschreibung

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.

Teilnahmebedingungen

• 1) Vorbemerkung (a) Die Eignung ist für jedes Mitglied einer Bewerbergemeinschaft gesondert nachzuweisen. Soweit nachfolgend nichts Abweichendes geregelt wird,…
• (1) Eigenerklärung über den Jahresumsatz in den vergangenen drei abgeschlossenen Geschäftsjahren einschließlich des Jahresumsatzes mit vergleichbaren…
• (1) Eigenerklärung über die Beschäftigtenanzahl und die Zahl seiner Führungskräfte in den vergangenen drei abgeschlossenen Geschäftsjahren; (2) Eigenerklärung…
• Die Vergabestelle behält sich vor, von den Bewerbern die Nachreichung, Vervollständigung und/oder Korrektur von Unterlagen im Rahmen des vergaberechtlich…

Ausführungsbedingungen

• Für Bewerbergemeinschaften gilt: Es gibt keine Vorgabe hinsichtlich der Rechtsform. Erforderlich ist die Einreichung einer von allen Mitgliedern der…

Amtliche Veröffentlichungen

• IMS Chips - Lieferung eines Photonic Computing Systems in zwei Losen - (Los 1: Grundsystem (PCS GS) und Los 2: Erweiterungssystem (PCS ES))
  Veröffentlicht: 20 März 2026
• Institut für Mikroelektronik Stuttgart - Nationale Vergabe von Planungs- und Bauleistungen für die Erneuerung der Bestandssteuerung in den…
  Veröffentlicht: 28 Mai 2025
• IMS Chips - Europaweite Vergabe einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken
  Veröffentlicht: 9 Mai 2025
• IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Partikelmessgeräts zur Messung von 150 mm und 200 mm Wafern
  Veröffentlicht: 25 Dezember 2024
• IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Partikelmessgeräts zur Messung von 150 mm und 200 mm Wafern
  Veröffentlicht: 1 August 2024
• IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Dielektrika-Plasma-Ätzers zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern
  Veröffentlicht: 13 März 2024

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Die Vergabestelle ist Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts (Deutschland).

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