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IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Auftraggeber: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts

Veröffentlicht
29 Mai 2026
Erfüllungsort
Stuttgart, DE111
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Lose
1
Unterlagen
1
Bekanntmachungsnummer
da9a78aa67d848408c93934615624feb
Referenz
bf32a7ff-8029-4b15-abe6-ff3d7c05c0d0
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.

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Die Vergabestelle ist Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts (Deutschland).
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