IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Dielektrika-Plasma-Ätzers zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Zuschlag an KLA Corporation.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Dielektrika-Plasma-Ätzers zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | Preis | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | KLA Corporation | 1 € | 1 | 19 Februar 2024 |
Amtliche Veröffentlichungen
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