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IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Dielektrika-Plasma-Ätzers zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern

Auftraggeber: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts

Veröffentlicht
13 März 2024
Erfüllungsort
DE111
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
c7639de80ce840229706b7571942d9c4
Referenz
f860e60a-a34f-4b40-993d-102cc4f96764
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Dielektrika-Plasma-Ätzers zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
KLA Corporation 1 €

Amtliche Veröffentlichungen

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Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts (Deutschland).
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