IMS Chips - Europaweite Vergabe einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken

Beträge und Kennzahlen

Beschreibung

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Amtliche Veröffentlichungen

• IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer
  Veröffentlicht: 29 Mai 2026
• IMS Chips - Lieferung eines Photonic Computing Systems in zwei Losen - (Los 1: Grundsystem (PCS GS) und Los 2: Erweiterungssystem (PCS ES))
  Veröffentlicht: 20 März 2026
• Institut für Mikroelektronik Stuttgart - Nationale Vergabe von Planungs- und Bauleistungen für die Erneuerung der Bestandssteuerung in den…
  Veröffentlicht: 28 Mai 2025
• IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Partikelmessgeräts zur Messung von 150 mm und 200 mm Wafern
  Veröffentlicht: 25 Dezember 2024
• IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Partikelmessgeräts zur Messung von 150 mm und 200 mm Wafern
  Veröffentlicht: 1 August 2024
• IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Dielektrika-Plasma-Ätzers zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern
  Veröffentlicht: 13 März 2024

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• Erweiterung Membransatz Kläranlage - Lieferung und Einbau — Frist bis 18 November 2026
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