Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung
Geschlossen. Angebotsfrist: 27 Juli 2026.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Die Beschaffung beinhaltet den Gas- und Vakuumanschluss für ein Cluster-Tool mit einer Kammer für die Ionenstrahlstrukturierung und 2 PVD-Kammern. Es sollen die Gase Ar, N2( 6.0), N2 (5.0), O2, He und Druckluft installiert werden, als auch 4 Vakuumleitungen zu den Vakuumpumpen und die Einbindung davon in die Abluft. Für He muss zusätzlich ein Druckminderer-Tableau aufgebaut werden. Für die anderen Gase werden bestehende Gasleitungen genutzt und erweitert, zusätzliche Druckminderer-Tableaus sind nicht notwendig. Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung
Amtliche Veröffentlichungen
| Medium | Referenz | Datum |
|---|---|---|
| OEV | 25581786-1 | 14 Juli 2026 |
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Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 27 Juli 2026, 14:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Fraunhofer ENAS (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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