CGA-TECH

Activité de CGA-TECH dans les marchés publics

• INX Dans le cadre de ces nombreux projets de recherche, l’IEMN travaille depuis 30 ans sur l’élaboration des composants micro/nano-électroniques à base du Silicium : MEMS, NEMS, MOEMS. La fabrication de ces types de composants implique l'utilisation de la technique de gravure profonde par plasma fluoré, comme par exemple, le procédé Bosch, utilisant les gaz SF6 et C4F8.\n\nL’objectif de cette acquisition est de permettre de suivre en temps réel la composition chimique des gaz extraits après un procédé de gravure, afin de :\n• Suivre l’évolution des espèces chimiques résiduelles\n• Qualifié et quantifié les espèces rejetées dans l’atmosphère\n• Optimiser les paramètres de gravure (vis-à-vis le rendement des gaz utilisés)\n• Détecter d’éventuels dysfonctionnements (polluants, fuites, dérives)\n
  CNRS-Délégation Centre-Est
  68 000 €2 février 2026
• Dans le cadre du projet MAPS 2, le laboratoire GREMAN souhaite acquérir plusieurs équipements. Chaque équipement fait l’objet d’un lot distinct donc les attendus techniques sont décrits dans les CCTP afférents. - Chambre à vide pour l’insertion, le stockage et le transfert d’échantillons
  UNIVERSITE DE TOURS
  6 437 €22 mai 2025

Pouvoirs adjudicateurs qui attribuent des marchés à CGA-TECH

• CNRS-Délégation Centre-Est
  1 · Attributions
• UNIVERSITE DE TOURS
  1 · Attributions

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