ANNEALSYS
Référence: 453588402
5
Attributions
823 232 €
Total attribué
Attributions récentes
- Acquisition d’un four de recuit rapide (Rapid Thermal Processing) pour des recuits jusqu’à 1250°C sous atmosphère contrôlée
- L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.
- Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un four de recuit thermique rapide (sigle RTA en anglais) pour le laboratoire IEMN
- L'équipement souhaité sera capable de réaliser des recuits thermiques rapides sur matériaux semi-conducteurs ou des oxydes, allant de l'échantillon du cm² aux plaques de diamètre 4''.
- Acquisition d'un réacteur MOCVD à injection pulsée
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