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Attribué France

L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.

CNRS-Délégation Centre-Est

Attribué à ANNEALSYS pour 126 249 €.

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Attributions

Attribué àMontantDate
ANNEALSYS 126 249 € 18 avril 2025

Publications officielles

SupportRéférenceDate
BOAMP 2022-180089013-2702724 18 avril 2025

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