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Attribué France

L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).

CNRS-Délégation Centre-Est

Attribué à PUCES TECHNOLOGIES SEMICONDUCTEURS pour 593 000 €.

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Montants et chiffres

593 000 €
Valeur estimée

Attributions

Attribué àMontantDate
PUCES TECHNOLOGIES SEMICONDUCTEURS 593 000 € 24 avril 2025

Publications officielles

SupportRéférenceDate
BOAMP 2022-180089013-2707389 29 avril 2025

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Questions fréquentes

Quelle est la valeur estimée de ce marché ?
La valeur estimée publiée par l'acheteur est de 593 000 €.
Qui est l'acheteur de ce marché ?
Le pouvoir adjudicateur est CNRS-Délégation Centre-Est (France).
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