Plasma enhanced chemical vapour deposition tool
Hankintayksikkö: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Julkaistu
- 5 syyskuuta 2026
- Menettely
- Neuvottelumenettely
- Osat
- 1
- Ilmoituksen numero
- EF-56248
- Viite
- 947d4fa6-81c9-416b-a79f-c15271acd94f
- Virallinen lähde
- Virallinen lähde
CPV-koodit
- 38000000Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja)
Kuvaus
THE SUBJECT OF THE PROCUREMENT The subject of the procurement is a plasma-enhanced automated cassette to cassette chemical vapor deposition (PECVD) system for deposition of dielectric thin films (SiO#, SiN, TEOS, SiON, a Si) for research and pilot line use in the VTT Micronova cleanroom. DIRECT AWARD, Article 40 2(2) of Finnish Procurement act (1397/2016) The procurement will be carried out as a direct award in accordance with 40 article Section 2(2) of the Finnish Public Procurement Act. According to the 40 § section 2(2) of the Act on Public Contracts (1397/2016), only a certain supplier can implement the procurement for a technical reason, or for a reason related to protecting an exclusive right; it shall be a further condition that there are no reasonable alternatives or substitute solutions, and that the absence of competition is not due to an artificial narrowing of the terms and conditions of the procurement. The justification for direct procurement applies in this case, as VTT already operates an existing deep reactive ion etching (DRIE) system manufactured by SPTS. In order to extend the operational lifetime of the existing etch chamber, and optimize the use of limite…
Hankintapäätökset
| Voittaja | Summa | Päivämäärä |
|---|---|---|
| KLA Corporation (KLA) | — | — |
Viralliset julkaisut
Muut hankintayksikön TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY hankinnat
- Hitsaustyöt ja koelaiterakentaminen tutkimusympäristössä
- Tietoturva-asiantuntijapalvelut ja Attack Surface Management -palvelu
- Confocal Raman microscope for particle morphology and material identification
- Ultratyhjiössä toimiva ohutkalvodepositiojärjestelmä
- Kvanttinova-hankkeen kaupalliset neuvonanto- ja koordinointipalvelut
- Advanced oxide and metal etcher
- Plasma etch cluster tool
- Kelvin probe force microscopy (KPFM)
- Industrial-scale paper and board piloting services at Valmet’s Rautpohja pilot facility
- Carbonization and activation unit
Usein kysytyt kysymykset
- Kuka on tämän hankinnan hankintayksikkö?
- Hankintayksikkö on TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY (Suomi).
- Miten voin osallistua julkisiin hankintoihin Suomessa?
- Tarjoukset jätetään Suomessa virallisen julkisten hankintojen portaalin kautta. El Vínculo auttaa löytämään hankinnat ja analysoimaan niiden asiakirjat; tarjous jätetään aina virallisessa lähteessä.
Luo ilmainen tili ja vastaanota joka päivä uudet liiketoimintaasi vastaavat julkiset hankinnat Suomessa.