Ultratyhjiössä toimiva ohutkalvodepositiojärjestelmä
Buyer: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Published
- 21 September 2026
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00646427-2026
- Reference
- 8f788871-d07b-4fdb-bebc-7d0f43a4db82
- Official source
- Official source
CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
HANKINNAN KOHDE Hankinnan kohde on erikoislaite ohutkalvorakenteiden kasvattamista varten. Laitetta käytetään tutkimukseen ja tuotekehitykseen ja se on suunniteltu mahdollistamaan erityisen puhtaiden ja kontrolloitujen rakenteiden valmistamisen ultratyhjiössä. Laite käyttää 200 mm kiekkokokoa. SUORAHANKINTA Sovellettava oikeusperusta: Hankintalaki (1397/2016) 40 § 2 mom. 5 kohta Hankinta toteutetaan suorahankintana julkisista hankinnoista ja käyttöoikeussopimuksista annetun lain (1397/2016) 40 §:n 2 momentin 5 kohdan perusteella. Kyseisen säännöksen mukaan hankintayksikkö voi tehdä suorahankinnan, jos hankittava tavara valmistetaan vain tutkimusta, kokeilua, tuotekehitystä tai tieteellistä tarkoitusta varten eikä kyseessä ole massatuotanto tavaran valmistamisen taloudellisen kannattavuuden varmistamiseksi tai tutkimus- ja kehityskustannusten kattamiseksi; Hankinnan kohde on VTT:n yksilöityihin tarpeisiin tutkimuskäyttöön hankittava ultratyhjiössä toimiva materiaalidepositiolaitteisto, jota käytetään VTTn Micronovan puolijohdevalmistusprosesseissa. Laitteisto valmistetaan yksittäiskappaleena VTTn asettamien reunaehtojen ja vaatimusten mukaisesti asennettavaksi Micronovan puhdas…
Award criteria
- Price — Kokonaishinta
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| DCA Instruments Oy | €4,297,905 | — |
Official publications
- TED · 00646427-2026 · 21 September 2026
- OJS · 182/2026 · 21 September 2026
Other tenders from TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Kvanttinova-hankkeen kaupalliset neuvonanto- ja koordinointipalvelut
- Plasma etch cluster tool
- Advanced oxide and metal etcher
- Kelvin probe force microscopy (KPFM)
- Plasma enhanced chemical vapour deposition tool
- Fyysisen pääsynhallinnan järjestelmien huolto- ja ylläpitopalvelut sekä asennus- ja toimituspalvelut
- Julkisten hankintojen kilpailuttamispalvelut (DPS) 2026–2030
- Tutkimuksen kemikaalit: laboratoriokemikaalit ja teollisuuskemikaalit
- 200 mm wafer coating and developing track tool DUV
- 200 mm wafer coating and developing track tool DUV
Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.