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Awarded European Union SuppliesFramework agreement

Accord-cadre de fourniture de groupe de pompage et de système d’abattement des effluents intégré

Buyer: CEA/Grenoble

Published
6 February 2025
Place of performance
Grenoble, FRK24
Procedure
Open procedure
Lots
1
Notice number
00082637-2025
Reference
092ad837-c9f6-466d-9910-ff8ba4bd9e86
Official source
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CPV codes

Description

Le CEA de Grenoble souhaite mettre en place un accord-cadre à marchés subséquents multi-attributaires permettant la fourniture de groupe de pompage et de système d’abattement des effluents intégré. Ces périphériques pourront être rattachés à l'un de ces ateliers : dépôt (PVD process, PVD pre-clean...), gravure (oxide Etch, Silicon Etch...), epitaxie, implanteur, traitement thermiques, recuit rapide... Les pompes devront être de type sèche et disposer d'un mode idle. Les pompes raccordées au système d’abattement pourront être amenées à être rattachées à l’une de ces 3 types de chambres : - Medium : gaz corrosifs - Harsh : gaz corrosifs, poudres, gaz explosifs Le système d'abattement devra disposer d'un mode idle.

Award criteria

Awards

Awarded toAmountDate
EDWARDS SAS €1
Pfeiffer Vacuum €1
EBARA Precision Machinery Europe €1

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